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石英晶圆

质料简介

Introduction

使用高品质原质料生产的高精度、大尺寸、厚度为0.5mm的石英玻璃晶圆片，，，，，可凭证客户要求定制。。。。。。。

使用高品质的合成石英玻璃，，，，，最大尺寸可达φ300mm，，，，，最薄为0.5mm。。。。。。。高精度的平面度和外貌粗糙度。。。。。。。

主要用途

Main Application

半导体制成、生物手艺、MEMS（微电子机械系统）、HTPS（高温多晶硅TFT液晶）。。。。。。。

规格参数

Corresponding Specifications

厚度

尺寸公差
（ mm ）

平面度（PV）（通光面）

TTV

外貌粗糙度（Ra）

划痕

凹坑

崩边
（ μ m ）

≥0.5 mm

直径 ± 0.1
厚度 ± 0.02 mm

≤ λ （ λ = 632.8mm ）

≤ 1 μm （ φ 200 mm ）

≤ 0.01 μm

宽度 ≤ 10 μm

直径 ≤ 25 μm

≤ 300 μm （楞边）
≤ 200 μm （外貌）

详细规格请致电详谈（尺寸φ300mm以内）

TTV（3D图）

TTV

TTV（曲线图）

TTV Curve

样品丈量值

Sample Measurement

φ300 mm

平面度（PV）（通光面）
≤ λ （ λ = 632.8mm ）

外貌粗糙度（Ra）≤ 0.01 μm

产品详情咨询：18272229653